Sous: spectra-physics.com
Ability yo pwopte difisil oswa materyel britanik
Ki pa peye-kontak pwosesis ak yon pri ki ba nan operasyon
Redwi batman, mikwo-fann, ak de-laminasyon
Etwat koupe laje pemet plis pati pa wafer
Tolerans laje vle di plis gaya, serye manifakti nan yon pri ki pi ba
Sole PV PERC Laze Scribing
Gen plizye etap kle pou fabwikasyon PERC selil sole. Premyeman, bo tounen nan selil la kouvwi ak yon kouch dielectric espesyal, tipikman SiO2, Al2O3, Sinx, oswa kek konbinezon ladan li. Kouch dielektrik la kom aplike se kontinyel, epi li se Se poutet sa nesese yo kreye ouveti nan yon etap pwosesis ki vin apre pou kontak ohmic. Pi bon fason pou fe sa se yo sevi ak yon laze yo ablate fim nan dielectric ak ekspoze silik la kache nan model la vle-tipikman etwat lineye. Se metallizasyon an aliminyom Le sa a, aplike sou tet kouch la dielectric. Se keratin aliminyom ekran enprime nan sifas sa a ak yon pwosesis imaj analiz temik analysis alyaj aliminyom nan ak silikon a laze-ekspoze a yo fome yon kontak bon ohmic.
Pandan ke JEometri grenn PEC yo yon ti jan varye, yon selil 6 "pral tipikman gen ant 75 ak 300 liy laze-script ki se ~ 155 mm long, 30-80 μm laje, e menm espas pa 0.5-2 mm. Pou ka a nan 1-mm liy separasyon, longe a granmoun nan ekriti yo PERC sou yon waf sel apepre met 25. Pousantaj pwosesis sib mande pa endistri ka kom wo kom 3,600 WPH (wafers pou chak edtan), ekwasyon nan yon vites écripting egzije nan 25 m / s. Vit 2-aks galvo eskane kom byen ke scanner poligon poligon ka reyalize vites sa yo.
Dirije Scribing
Laze eskandal dirije waf se yon defi depi materyel la se relativman transparan nan posyon vizib la nan espek elektwomayetik la. GaN se transparan anba 365 nm, ak sapfire semi-transparan pi wo a 177 nm. Se konsa, frekans trip (355 nm) ak kwadwilate frekans (266 nm) dyode-ponpe solid eta (DPSS) Q-chanje kouch yo se chwa ki pi bon pou dirije kritik. Pandan ke laze eksitan yo disponib tou nan seri sa a vag, DPS laze gen pi piti anprint epi yo ka reyalize anpil laje etwat koupe ak mande byen lwen mwens antretyen.
Pa diminye mikwo-fann ak fann pwopagasyon, eskandal laze pemet aparey yo ki ap dirije yo dwe pi plis byen espas, amelyore tou de sede ak depite. Paske gen ta ka tipikman gen plis pase 20,000 diskrete aparey ki ap dirije sou yon sel 2-pous waf, koupe laje kritikman enpak sede. Diminye mikwo-fann pandan pwosesis la separasyon mouri te tou yo te montre yo amelyore fyab la tem long nan aparey yo ki ap dirije. Sede amelyore ak laze eskandal pa diminye repo wafer. Vites la nan scribe laze ak kraze pwosesis la se tou anpil pi vit pase tradisyonel koupe mekanik. Tolerans nan pi laj nan laze ak eliminasyon an nan mete blad mete ak kraze tradwi nan yon pwosesis manifakti pi serye tre serye nan yon pri ki pi ba.
Silisyom Film Sole Selil Script
Diode-ponpe eta solid (DPSS) laze yo te pwouve vale yo nan envante a nan yon aparey fim si-sis. Q-chanje lazer yo te itilize pou twa pwosesis yo direkte prensipal - li te ye tankou P1 a, P2, ak P3 grefye - ki separe aparey la planar gwo nan yon etalaj de seriterinconnected selil fotovoltaic. Pwosesis yo direkteman enplike nan dives kalite fim mens (0.2 - 3.0 μm tipik) materyel ak domaj minimom kolateral nan substrate nan ve oswa lot fim.
Pou P1 scribing, yon fim mens nan TCO (transparan fe oksid) materyel - tipikman SnO2 - se retire nan substra a ve, epi li se tipikman reyalize ak 1064 nm Q-chanje lazer. Pwosesis sa a egzije relativman wo kloti laze akoz transparans nan optik ak mekanik dite nan fim nan TCO. Avek Spectra-Fizik HIPPO™ 1064-27, 50 μm laje P1 direkte yo reyalize nan vites endistri ki mennen. Kout laje batman ke laze a ak estabilite eneji eksepsyonel-a-batman ke pemet pou pwosesis nan 200 kHz PRF (repetisyon batman ke repetisyon), ki tradui nan vites grefye nan 8 m / sec.
P2 ak P3 direkte lalwa tipikman itilize 532 nm laze, sitou paske limye a se fotman absobe pa kouch absobe sole silikon an. Scribe la P2 retire kouch silisyom la selman, pandan yo ap la P3 direkte la retire plis tounen metal / TCO fim kom byen. Yon kout laje batman ke se esansyel pou reyalize pi bon-efikasite rezilta yo ki efikasite. Le konbine avek estabilite eneji ekselan nan segonde PRF, vites 12 m / sec yo reyalize ak estabilite nan Spectra-Fizik HIPPO 532-15 laze sistem opere nan 160 kHz PRF.
Laze pou Scribing
Not aplikasyon
Dirije Scribing
Amorphe Silicon mens Film Sole Scriping
Seramik Scribing
Materyel seramik yo itilize anpil nan mikwoelektwonik yo, semiconductor, ak ki ap dirije endistri ekleraj paske yo te elektrikman posib ak temik pwopriyete konduktif, osi byen ke pou endistri limye segonde-sevis yo. Britanik yo fe pwosesis laze atire le yo konpare ak machin konvansyonel, patikilyeman pou pwodwi karakteristik yo de pli zan pli ti ak konplike obligatwa pou avanse anbalaj mikwoselektwon. Gade Scribing seramik Le li sevi avek talon®Pulsed UV ak Laze Green pou plis enfomasyon.
Silisyom Wafer Scribing
Pou montre avantaj de TimeShift teknoloji a divize kapasite, nou pwodwi direkte laze an menm vites grefye ak PRF pou dives nivo kliyan. De kouche nan done yo te kolekte; youn ak yon pwodiksyon batman ke nan yon sel 25 nous batman ke, ak youn ak yon pete nan senk 5 nous sub-batman ke 10 nouns. Scribe pwofonde done montre avantaj ki kle nan le li sevi avek batman ke divize mikwomachin sou machin sel batman ke. Yon ogmantasyon nan pwofese ablasyon ant 52% ak 77% te obseve depann sou nivo kliyan an. Nou menm tou nou obseve amelyorasyon nan bon jan kalite nan fann batman ke. We Glass Koupe ak Silisyom Scribing Excel ak Quasar®TimeShift™ Teknoloji pou plis enfomasyon.