Sous: mtiinstruments
ASTM F657:
Distans la nan yon pen plat ant pwen korespondan sou devan an ak sifas tounen. Pesè ki eksprime nan mikron oswa mil (milyèm nan yon pous).
Varyasyon epesè total (TTV)
ASTM F657:
Diferans ki genyen ant valè maksimòm ak minimòm epesè rankontre pandan yon modèl eskanè oswa seri mezi pwen. TTV se eksprime an mikron oswa mil (milyèm nan yon pous).
Figi ki pi wo a montre yon wafer mete ant de sondaj mezi ki pa kontak. Pa kontwole chanjman ant figi siperyè figi a ak sifas siperyè wafer (A) ak figi pwofonde anba ak sifas pen wafer (B), yo kapab kalkile epesè. Premye sistèm lan dwe kalibre ak yon pen plat sou epesè li te ye (T w ). Se zòn nan nan epesè li te ye mete ant sond yo ak yon pwofonde anwo defo wafer (A) ak yon pwofonde pi ba diferans wafer (B) se akeri. Se diferans lan total (Gtotal) ant anwo ak pi ba sond Lè sa a, kalkile jan sa a:
G total = A + B + T w
Avèk sistèm la kalibre, gato nan epesè unknown kapab kounye a ka mezire. Lè se pen plat la mete ant sond yo, se yon nouvo valè nan A ak B akeri. Pesè kalkile konsa:
T w = total G - (A + B)
Pandan yon optik otomatik ki fonksyone nan pen plat la, se yon seri de mezi pwen pran ak estoke. Apre yo fin fè eskanè a, TTV se kalkile jan sa a:
TTV = T max - T min
MEZWASYON KI PA KONTAKTE
ASTM F534 3.1.2:
Devyasyon nan pwen sant nan medyan sifas la nan yon wafer gratis, unclamped soti nan plan medyàn sifas referans etabli pa twa pwen egalman espace sou yon sèk ki gen yon dyamèt yon kantite lajan espesifye mwens pase dyamèt la nominal nan pen an.
Medyan sifas:
Locus nan pwen nan wafer la ekivalan ant devan an ak sifas dèyè. Lè w ap mezire ak kalkile banza, li enpòtan sonje ke kote sifas la medyàn nan pen plat la dwe li te ye. Pa mezire devyasyon nan sifas medyàn, varyasyon lokalize epesè nan pwen sant nan pen an yo retire nan kalkil la.
Pi wo pase montre relasyon ki genyen ant sifas medyòm pen plat ant de fas yo sonde kote:
D = Distans ant figi siperyè ak pi ba
A = Distans ant sond siperyè a sou sifas tèt wafer
B = Distans soti nan pi ba sond lan anba sifas wafer
Z = Distans ant sifas medikal wafer la ak pwen mwatye chemen ant antyè siperyè ak pi ba (D / 2)
Pou detèmine valè Z nan nenpòt kote sou wafer la, genyen de ekwasyon:
Z = D / 2 - A - T / 2 ak Z = -D / 2 + B + T / 2
Rezoud tou de ekwasyon pou Z, ka valè a dwe detèmine tou senpleman pa:
Z = (B - A) / 2
Depi yo mezire banza nan pwen sant nan wafer la sèlman, yon twa pwen referans avyon sou kwen nan pen an kalkile. Se valè a nan banza Lè sa a, kalkile lè yo mezire ki kote sifas medyàn nan sant la nan pen plat ak detèmine li distans soti nan plan referans lan. Remake byen ke banza kapab yon nimewo pozitif oswa negatif. Pozitif vle di pwen sant la nan sifas medyan an pi wo pase plan an referans twa pwen. Negatif vle di pwen sant la nan sifas medyan an se anba plan an referans twa pwen.
Mezi lagè pou endistri a solè
ASTM F1390:
Diferans ki genyen ant distans maksimòm ak minimòm sifas medyàn nan yon wafer lib, unclamped ki sòti nan yon plas referans. Tankou banza, chèn se yon mezi nan diferansyasyon ki genyen ant sifas medyàn nan yon pen plat ak yon plan referans. Chèn, sepandan, sèvi ak tout sifas medyàn nan pen plat la olye pou yo jis pozisyon nan pwen sant lan. Pa gade nan pen an tout antye, chèn bay yon mezi pi itil nan fòm wafer vre. Kote sifas medyàn lan kalkile egzakteman jan li ye pou banza epi yo montre li pi wo a. Pou detèminasyon chèn, gen de chwa pou konstriksyon avyon referans lan. Youn se menm avyon twa pwen alantou kwen nan pen an. Lòt la se pa fè yon kare pi piti kalkil anfòm nan done sifas medyan akeri pandan eskanè a mezi. Se chèn Lè sa a, kalkile nan jwenn devyasyon maksimòm nan soti nan avyon an referans (RPD max ) ak diferansyasyon nan minimòm soti nan plan referans lan (RPD min ). RPD max defini kòm pi gwo distans ki pi wo pase avyon referans lan e se yon nimewo pozitif. RPD min se pi gwo distans ki anba plan referans lan epi li se yon nimewo negatif.
Figi ki pi wo a se yon ilistrasyon nan kalkil nan chèn. Nan egzanp sa a RPDmax se 1.5 epi yo montre kòm distans maksimòm sifas medyàn ki pi wo pase plan referans lan. RPDmin se - 1.5 epi li montre ke distans maksimòm sifas medyan ki anba avyon referans lan. Chèn Remak se toujou yon valè pozitif.
Chèn = 1.5 - (-1.5) = 3
Li montre tou itilite nan pran tou de banza ak chèn lekti. Sifas medyàn nan wafer a montre entèsekte avyon referans lan nan sant wafer, kidonk, mezi banza ta dwe zewo. Valè an warp kalkile se pi plis itil nan ka sa a jan li di itilizatè a wafer a gen iregilarite fòm.