166mmx166mm M6 monokristalin Silisyòm wafer solè ak dyamèt 223mm se 12,21% pi gwo pase M2 wafer. Se konsa, selil solè te fè nan substrat M6 pral gen 12.21% pi wo pwodiksyon pouvwa pase sa yo te fè nan substra M2.
1 Pwopriyete materyèl
Pwopriyete | Espesifikasyon | Metòd enspeksyon |
Metòd kwasans | CZ | |
Kristalinite | Monokristalin | Teknik etch preferansyèl（ASTM F47-88） |
Kalite konduktivite | P-kalite | Napson EC-80TPN P/N |
Dopant | Bor, Gallium | - |
Oksijèn konsantrasyon [Oi] | ≦8E+17 nan / cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Konsantrasyon kabòn [CS] | ≦5E+16 nan / cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
Etch dansite twou san fon (dansite debwatman) | ≦500 cm-3 | Teknik etch preferansyèl（ASTM F47-88） |
Oryantasyon andigman | & lt; 100> ± 3 ° | X-ray Diffraction Metòd (ASTM F26-1987) |
Oryantasyon nan pseudo kote kare | & lt; 010> ;,< 001=""> ± 3 ° | X-ray Diffraction Metòd (ASTM F26-1987) |
2 Pwopriyete elektrik
Pwopriyete | Espesifikasyon | Metòd enspeksyon |
Rezistivite | 0.5-1.5 Ωcm | Wafer enspeksyon sistèm lan |
MCLT (minè konpayi asirans pou tout lavi) | ≧50 μs | Sinton BCT-400 (ak nivo piki: 1E15 cm-3) |
3Jewometri
Pwopriyete | Espesifikasyon | Metòd enspeksyon |
Jewometri | Plen kare | |
Wafer Side longè | 166 ± 0.25 mm | sistèm enspeksyon wafer |
Dyamèt Wafer | φ223 ± 0.25 mm | sistèm enspeksyon wafer |
Ang ant kote adjasan yo | 90° ± 0.2° | sistèm enspeksyon wafer |
Epesè | 180﹢20/﹣10 µm; 170﹢20/﹣10 µm | sistèm enspeksyon wafer |
TTV (varyasyon epesè total) | ≤27 µm | sistèm enspeksyon wafer |
4 Pwopriyete andigman
Pwopriyete | Espesifikasyon | Metòd enspeksyon |
Koupe metòd | DW | -- |
Bon jan kalite andigman | kòm koupe ak netwaye, pa gen okenn kontaminasyon vizib, (lwil oliv oswa grès, anprent dwèt, tach savon, tach sispansyon, tach epoksidik / lakòl yo pa gen dwa) | sistèm enspeksyon wafer |
Wè mak / etap | ≤ 15µm | sistèm enspeksyon wafer |
Bow | ≤ 40 µm | sistèm enspeksyon wafer |
Chèn | ≤ 40 µm | sistèm enspeksyon wafer |
Chip | pwofondè ≤0.3mm ak longè ≤ 0.5mm Max 2 / pcs; pa gen V-chip | Je toutouni oswa sistèm enspeksyon wafer |
Mikwo fant / twou | Pa pèmèt | sistèm enspeksyon wafer |
Baj popilè: p kalite 166mm monokristalin solè wafer, Lachin, Swèd, manifaktirè, faktori, te fè nan peyi Lachin
