P kalite M6 monocrystalline silikon ge sole ak longe 166mm ak dyamet nan 223mm se 12.21 pi gwo pase M2 wafer. sa vle di ke selil sole te fe nan M6 substrate pral gen 12.21 pi wo pwodiksyon pouvwa pase sa ki te fe nan M2 substrate.
1 Pwopriyete materyel
Pwopriyete | Spesifikasyon | Metod enspeksyon |
Metod kwasans | kriz | |
Kristalinite | Monocrystalline
| Teknik preferansyel etch（ASTM F47-88） |
Kalite konduktivite | P-kalite | Napson EC-80TPN P / N |
Dopant
| Boron, Galyom
| - |
konsantrasyon oksijen [Oi] | ≦8E + 17 nan / cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Konsantrasyon kabon [CS] | ≦5E + 16 nan / cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
Etch dansite pit (dansite divilgasyon) | ≦500 cm-3 | Teknik preferansyel etch（ASTM F47-88） |
Oryantasyon sifas | <100>±3° | X-ray Diffraction Metod (ASTM F26-1987) |
Oryantasyon nan kote pseudo kare | <010>,<001>±3° | X-ray Diffraction Metod (ASTM F26-1987) |
2 Pwopriyete elektrik yo
Pwopriyete | Spesifikasyon | Metod enspeksyon |
Rezistivite | 0.5-1.5 Ωcm | Wafer enspeksyon sistem |
MCLT (minorite asirans lavi) | ≧50 μs | Sinton BCT-400 (ak nivo piki: 1E15 cm-3) |
3 Jeometri
Pwopriyete | Spesifikasyon | Metod enspeksyon |
Jeometri | Kare konple | |
Longe bo waf | 166±0.25 mm | sistem enspeksyon vag |
Dyamet waf | φ223±0.25 mm | sistem enspeksyon vag |
Ang ant kote adjasan yo | 90° ± 0.2° | sistem enspeksyon vag |
epese | 180﹢20/﹣10 μm; 170﹢20/﹣10 μm | sistem enspeksyon vag |
TTV (Total epese varyasyon) | ≤27 μm | sistem enspeksyon vag |
4 Pwopriyete sifas yo
Pwopriyete | Spesifikasyon | Metod enspeksyon |
Koupe metod | TRASE | -- |
Bon jan kalite sifas | kom koupe ak netwaye, pa gen okenn kontaminasyon vizib, (lwil oliv oswa gres, enprimant dwet, tach savon, tach sispann, tach epoksidik / lakol yo pa pemet) | sistem enspeksyon vag |
Te we mak / etap | ≤ 15μm | sistem enspeksyon vag |
Bow | ≤ 40 μm | sistem enspeksyon vag |
gep | ≤ 40 μm | sistem enspeksyon vag |
Chip | pwofonde ≤0.3mm ak longe ≤ 0.5mm Max 2 / pcs; pa gen okenn V-chip | Je toutouni oswa sistem enspeksyon waf |
Mikwo frakti / tou | Pa pemet | sistem enspeksyon vag |
Baj popilè: p kalite m6 monocrystalline ge sole, Lachin, founise, manifaktire, faktori, te fe nan Lachin
